多聯玻璃過濾器制作采用的是硅微細加工工藝和硅深層刻蝕工藝。在設計多聯玻璃過濾器時,至少有兩個問題需要考慮:(1)過濾器的結構。傳統的過濾器稱為膜,透過性和篩選性是膜的兩個重要特性[3]。如果把多聯玻璃過濾器近似看作一種濾膜,由于其孔徑大,透過性好,因此流體流速快,過濾通道不容易堵塞,但篩選性差,只能過濾比其孔徑大的微粒;(2)制作工藝。多聯玻璃過濾器的制作工藝要盡量簡單,掩模版的使用以及硅 硅鍵合、高聚物鍵合的次數要盡量少[4]。基于這些考慮,本文設計了在硅基底上刻蝕出深200μｍ的矩形槽,并在槽的底部刻蝕線寬10μｍ(理論設計)、周期40μｍ、有效過濾面積為10ｍｍ×3ｍｍ的條狀網柵,形成條柵狀多聯玻璃過濾器(圖1)。加工時雙面光刻一次,不需要掩模版的堆迭,也不需要硅 硅或者硅 玻璃的鍵合,干法刻蝕則可狹縫的尺寸和垂直度。

　　此多聯玻璃過濾器由兩段組成,*段主要是圓筒形玻璃纖維膜壓濾芯(管狀28根)組成過濾段,濾芯安裝在有支座的管板上,管板的每個支座都有一根Ｚ形或Ｘ形的支撐桿,濾芯及其封頭通過支撐桿,用螺栓牢固地固定在管板上。再用固定架將濾芯的自由端固定起來,通過拆裝固定架和螺栓,可以拆裝、清洗、更換濾芯。第二段為分離段。分離段內安裝有由不銹鋼金屬絲網構成的絲網墊層分離除霧、聚結裝置,過濾段與分離段之間用管板隔開,多聯玻璃過濾器下部是一個儲液罐,此罐與過濾、分離段相對應地分成兩段,過濾段和分離段分離出的液體分別通過各自的降液管進入儲液罐中。

　　多聯玻璃過濾器采用氣動排污閥，反沖洗歷時短，反沖洗耗水量少，環保經濟。易損件少，無耗材，運行維護費用低，操作管理簡單。結構設計緊湊合理，占地面積小，安裝移動靈活方便。運行，可以根據不同水源和過濾精度靈活調整反沖洗壓差時間和時間設定值。本裝置內襯微孔濾膜，可用于化學分析，儀器分析，衛生檢驗，制藥工業，生物制品和農藥，石油，環保監測等方面液體過濾，以監測和除去液體中的微粒和細菌。多聯玻璃過濾器主要應用于水相,有機相,及腐蝕性液體的過濾,用于特定污染物的分析，特別用于HPLC流動相的過濾,有一定的脫氣作用,以流動相的潔凈，防止HPLC液路的堵塞.也可用于無菌試驗，培養除菌過濾,熱敏性藥物的除菌過濾。

　　多聯玻璃過濾器是設置在流體系統中,用于過濾流體中的粒子以控制污染的一種裝置。表面過濾作用是通過固體污染物的粒子碰撞而滯留在單一平面或面上的毛孔或通路的基體上而完成的,過濾作用僅僅發生于這一表面上。表面過濾能有效地收集大于毛孔尺寸的粒子,但卻不能收集纖維和比毛孔尺寸小的粒子。深度過濾是通過固體污染物碰撞而留在連續的(或深度的)毛孔的基體上而完成的。過濾不僅在介體表面進行,而且還在介體的整個厚度上進行。多聯玻璃過濾器通過深度過濾能有效地收集大于zui大毛孔尺寸的粒子和纖維,同時,憑借于其過濾介體的型式和厚度,它也能同樣收集一部分比zui大毛孔尺寸小的污染物。